在纳米级半导体制造中，气体配比的精准度直接决定了晶圆的成败。本文深度解析气体流量控制器（MFC）的工作原理，探讨温度漂移与响应时间如何通过连锁反应破坏PECVD和ALD工艺，并为工艺工程师提供实战避坑指南。
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